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在线测试仪表


                               

根据温度、膜厚、翘曲测量模块可选配。各模块特性与参数:

温度测量模块

技术特性:

* 高精度、宽范围、高一致性

* 抗干扰能力强:能有效抑制由于薄膜干涉效应造成的测温干扰,能有效抑制由于安装位置及角度偏差造成的测温误差

* 测温响应速度快,可实现温度实时控制

* 通过软件可实时察看盘面单点、多点的温度 

主要参数:

测温波长

940nm

数据采样速率

30kHz

测温精度

<0.5℃ @700°,黑体炉测试

测温范围

450℃-1300℃

重复性

<1℃  ( T>500℃)

通光孔大小

5mm   (150mm距离)(可定制)

仪表出光孔距被测表面距离

<150mm 视场光斑3mm(可定制)

石墨盘旋转速度

<1200rpm

仪表工作环境温度

18℃ - 40℃

工作电压

220VAC


膜厚测量模块

技术特性:

* 两波段可选测晶片反射率(940nm波段和635nm波段)

* 可同时测试多点反射率比较

* 可实时计算膜厚生长速率

* 可显示整炉晶片反射率Mapping值

* 通过软件可实时察看盘面单点、多点的膜厚数据

主要参数:

波长

635nm(20nm bandwidth) or 940nm

数据采样速率

30kHz

测试精度

<0.5%

通光孔大小

5mm   (150mm距离)(可定制)

仪表出光孔距被测表面距离

<150mm 视场光斑3mm(可定制)

石墨盘旋转速度

<1200rpm

仪表工作环境温度

18℃ - 40℃

工作电压

220VAC


翘曲测量模块

技术特性:

* 可实时测量晶片表面倾角

* 可计算每个晶片的翘曲半径和曲率

主要参数:

翘曲半径测试范围

>6m或<-6m

曲率测试范围

-150km-1 - 150km-1

曲率分辨率

1km-1

数据采样速率

30kHz

通光孔大小

5mm   (150mm距离)(可定制)

仪表出光孔距被测表面距离

<150mm 视场光斑3mm(可定制)

石墨盘旋转速度

<1200rpm

仪表工作环境温度

18℃ - 40℃

工作电压

220VAC


质量保证:
1、设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。
保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障,我们将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
3、提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、由技术人员提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、
随机工具等)。

 

昭信半导体承诺:所有设备出厂前均经过严格的质量检测与功能调试,您可放心选用。