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量产型MOCVD

 

产品介绍:

量产型MOCVD设备主推GaN 72*2"款型,是经过精确计算外延过程投入与产出关系后,定型的可获取最优比例的机型。
设备采用昭信半导体自创BDS气体分配系统技术,支持片状加热电炉或钨丝加热电炉,石墨盘表面最高工作温度可达
1300℃以上。采用MO源与建立反应腔流场气体分离输送的技术,便于各型号进行无缝升级;核心组件均为自主设计、
生产制造,维护维修成本低。设备可选配中心在线红外测温系统与机械手自动取放石墨盘系统,最大限度减少量产
过程的人为干预。该系列设备具有外延质量高、生产效率高、自动化程度高、升降温度速率快等优点,是生产企业
进行批量外延生长的理想产品

 

型号:BDS 72*2"
应用领域:蓝光LED、绿光LED、半导体激光器、半导体探测器等化合物半导体材料制备。

 

技术特性:
* 极高气体流程均匀性和重复性
* 石墨盘表面最高工作温度可达1300℃以上
* 可实现高速、高质量GaN等材料生长,生长速度可达30um/h以上

 

质量保证:
1、设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。
保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障,我们将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
3、提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、由技术人员提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、
随机工具等)。

 

昭信半导体承诺:所有设备出厂前均经过严格的质量检测与功能调试,您可放心选用。