您现在的位置:首页 > 产品中心 >

手套箱集成蒸发镀膜机 SPES-400A


        SPES-400A蒸发镀膜设备是昭信半导体为科研院所研制的一款模块化蒸发镀膜设备,最多可以安装4个金属蒸发源+3个有机蒸发源。样品台可旋转,转速连续可调;样品台可选加热、水冷等功能。SPES-400A能与手套箱系统有机结合,实现高真空多源有机、金属电阻蒸发及手套箱保护条件下器件后期制作、检测封装等。

SPES-400A蒸发镀膜设备主要技术指标

镀膜室

SUS304不锈钢制作方箱式,前滑开门,门上配有观察窗;镀膜室内净尺寸:L400×W 400×H450;腔室配有照明及膜厚仪接口;

真空系统

复合分子泵(抽速 1200L/S)+合资直联旋片泵(抽速 9L/S),高真空插板阀;

真空极限

优于 5.0×10-5Pa;抽速:从大气抽至 2.0×10-4Pa≤30min;

漏率

1.0×10-8mbar·l/s;

样品台

抽屉式结构,承载最大 120×120mm基片;配有气动基片台挡板;基片台磁流体密封,电机驱动,旋转速度 0-20转/分钟可调;靶基距可调;样品台可额外选配加热、水冷等功能。

蒸发源

2组水冷金属蒸发源及2台2KW蒸发电源(两组可独立或共蒸),蒸发温度小于1300℃;1组有机束源式蒸发源及蒸发源,独立 PID智能温控电源;三组独立蒸发源分布在中心圆上;成膜均匀;每源配独立挡板及源间防污隔板;

晶振膜厚控制仪

配置进口膜厚仪+水冷探头;

控制方式

手动逻辑控制及保护系统;

报警及保护

对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;