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随着半导体器件和紫外LED的应用领域逐步扩展,市场对高温外延设备的需求日益强烈。对传统MOCVD设备进行改造,
既可以降低外延厂家前期设备投入,也可以实现原MOCVD设备外延芯片的多样化,丰富外延生产线。MOCVD高温化改造
是外延厂家实现高温外延最迅速、最高效的低成本途径


服务形式:
采用昭信半导体自主研制的全金属构架加热器,提高加热器工作温度;对原设备中涉及温度升降与管理的水、电、控
制系统进行合理的更换或优化,以最小的软硬件改动实现设备高温化需求。

 

技术特性:
* 工作温度:盘面最高工作温度可达1400℃以上
* 高均匀性:三区盘面温度均匀性在1℃以内
* 高重复性:同一升温配方,盘面温度重复性在2℃以内
* 高可靠性:全金属结构更好抑制加热器高温变形,提高加热器寿命


案例:

GaN型MOCVD设备    改造后石墨盘面工作温度提升至1350℃

 

质量保证:
1、设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。
保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障,我们将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
3、提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、由技术人员提供上门服务(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、
随机工具等)。

 

昭信半导体承诺:所有设备出厂前均经过严格的质量检测与功能调试,您可放心选用。