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产品特点:
* 泄漏率小于1*10-9mbar·L/s
* 内表面光洁度高
* 原材料均经过高温烘烤除气处理
* 可适用于各类法兰接口

 

服务范围:
* MOCVD、PECVD、LPCVD等各类CVD腔体定制
* 蒸发、溅射、离子镀等各类PVD腔体定制
* 真空电极等非标件定制


案例:

定制适用于直写式电子束蒸发设备的不锈钢高真空工艺腔体


质量保证:
1、本产品使用过程中如遇故障,我们将快速响应,并提供适宜的技术支持。
2、由技术人员提供上门服务(产品安装调试、技术讲解及操作指导等)。
3、可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、
随机工具等)。

 

昭信半导体承诺:所有产品出厂前均经过严格的质量检验与性能测试,您可放心选用。